納隆類金剛石碳基(jī)塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦係數等優異性能,被廣泛用作保護塗層。通過(guò)向 DLC 塗層中摻雜(zá) Si 元素不僅可以進一 步提高塗層的性質(zhì),而且還可以通過控製 Si 的摻入 量,沉積(jī)低應力的多層結構。這種多(duō)層結構不但可 以(yǐ)沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕性(xìng)能。
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