納隆類金(jīn)剛石碳基塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦係數(shù)等優(yōu)異性能,被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅可以進一 步提高塗層的性質,而且還可以通(tōng)過控製 Si 的摻(chān)入(rù) 量,沉積低應力的多層結構。這種多層結構不但可 以沉積厚膜,而(ér)且還能延長腐蝕離子的擴(kuò)散路徑,以增強其抗腐蝕性(xìng)能。
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