納隆類金剛石(shí)碳基(jī)塗層因其高的抗腐蝕性、化(huà)學(xué)惰性、抗磨 損性和低的摩(mó)擦(cā)係數等優異性能,被廣泛用作保(bǎo)護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅可以進一 步提高塗層的性質,而且還可以(yǐ)通過控製 Si 的摻(chān)入 量,沉積低(dī)應(yīng)力的多(duō)層結構。這種多層結構不但可 以沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕性能。
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