頭 條304不鏽鋼工件沉積耐磨防（fáng）腐 DLC塗層性能變化分析

納隆類金剛石碳基塗（tú）層因其高的抗腐蝕（shí）性、化學惰（duò）性、抗磨 損（sǔn）性和低的摩擦係（xì）數等（děng）優異性能，被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅（jǐn）可以進一 步（bù）提高塗層的性質，而（ér）且還可以（yǐ）通過（guò）控製（zhì） Si 的摻入 量，沉積低應力的多層結構。這種多層結構（gòu）不但可 以（yǐ）沉積厚膜，而且（qiě）還能延長腐蝕離子的擴散路徑，以增強其抗腐蝕（shí）性（xìng）能。