納隆類金(jīn)剛石碳基塗層因其(qí)高的抗腐蝕性(xìng)、化學惰性、抗磨(mó) 損性和(hé)低的摩擦係數等優異性能,被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅可以進一 步提高塗層的性質,而且(qiě)還可以通(tōng)過控製 Si 的摻入 量,沉(chén)積低應力的多層結(jié)構。這種多層結構不(bú)但可 以沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕(shí)性能。
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