納隆類金剛(gāng)石碳基塗層因(yīn)其高(gāo)的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦係數等優異性能,被廣泛用(yòng)作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅(jǐn)可以進一 步提(tí)高塗層的性質,而且還可以通過控製 Si 的摻入 量,沉積低應力的多層結構。這種多層結構不但可 以沉積(jī)厚(hòu)膜,而且還能延長腐蝕離子的擴(kuò)散路徑,以增強其抗腐蝕性能。
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