納隆類金剛石碳(tàn)基塗層因其高的抗腐(fǔ)蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦係數等優異性能,被廣泛用作保護塗(tú)層。通(tōng)過向 DLC 塗(tú)層中摻雜 Si 元素不僅可以(yǐ)進一(yī) 步提(tí)高塗層的性質,而且還可以通過控製 Si 的摻入 量,沉積低應力的多層結構。這種多層結構不但可 以沉積(jī)厚膜,而且還能延長腐蝕離子(zǐ)的擴散路徑(jìng),以增強其抗腐蝕性能。
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