納隆類金剛石碳基塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦係(xì)數等優異性能,被廣泛用作保護塗(tú)層。通過(guò)向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅(jǐn)可(kě)以進一 步提高塗層的性質,而且還可以(yǐ)通過控製 Si 的摻入 量,沉積低應力的(de)多層結構。這種多層結構不但可 以沉積厚膜,而且還(hái)能延長腐蝕離(lí)子的擴(kuò)散(sàn)路徑(jìng),以增強其抗腐蝕性(xìng)能。
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