納隆類金剛石碳基塗層因其高的抗(kàng)腐(fǔ)蝕性、化學惰性、抗磨 損性(xìng)和低的摩擦係數等優異性能,被廣泛用作保護塗層(céng)。通過向 DLC 塗(tú)層中摻雜 Si 元素不僅可以進一 步(bù)提高塗層的性質,而且還可以通(tōng)過控製 Si 的摻入 量,沉(chén)積低應力的多層結構。這種多層結構不但(dàn)可 以沉積(jī)厚膜,而且還(hái)能延長腐蝕離子的擴(kuò)散路徑,以增強其抗腐蝕性能。
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