類金（jīn）剛石薄（báo）膜（mó）(DLC)由於具有優良的光電和力學特性在（zài）工業上具有廣泛（fàn）的應用前景近年來DLC膜在許多方麵（miàn）已得到了工業（yè）化應用如在切削刀（dāo）具自動化機械零部件等的表麵（miàn）塗層處理上。但是DLC膜的一個（gè）致命弱點是內部應（yīng）力很高使得薄膜的附著力特（tè）性較差、不易厚膜化從而極大地限製了它的應（yīng）用範圍。為了改善硬質薄膜特別是DLC薄膜（mó）的（de）附著力特性，最近人們將目光投向了納（nà）米多層膜的研究（jiū）上此法如果能優化（huà）多層膜（mó）的調製周期、各塗層種類等，可（kě）以兼顧內應力緩解與薄膜（mó）高硬（yìng）度等特性，目前我司DLC加（jiā）工廠開始引入Ti摻雜對磁控濺射類金剛石(DLC)。

Ti摻雜（zá）對磁控濺射類金剛石(DLC)薄膜附著力及硬度會有什（shí）麽影響（xiǎng）？

采（cǎi）用納米劃痕儀和顯微（wēi）硬度計分析測（cè）試了薄膜的附著力（lì）和硬度。研究表明金屬T的摻雜有利於DLC薄膜附著力特（tè）性的改善但對硬度有（yǒu）一定的影響（xiǎng）。Ti應力緩和層的（de）導入進一步改善了 T-DLC薄膜的附（fù）著力特性使（shǐ）其達到或超過了TIN薄膜的水平對於附著力的改善T應力緩和層存在最佳的厚度值采用特殊的變周期多層（céng）結構設計即在應力集中的膜基（jī）界麵附近采用較小的調製周期薄膜頂層附近采用較大（dà）的調製周期（qī）不但可以保持（chí）足夠的附著（zhe）力還可維（wéi）持Ti-DLC薄膜原有（yǒu）的硬度（dù）。

應力緩和層對應力的緩解作用與層數,厚度及軟（ruǎn）層/硬（yìng）層厚度（dù）的相對（duì）比等間存在著密切的關係。多層薄膜的附著力緩和層的Ti/ TDLC/ TiDLC.特性發（fā）現對於具有層厚應力緩和層的 TiDLC多層膜其附著力結（jié）果有較大的差別，這說明應力緩和層具有最合適的厚度，太（tài）薄其相（xiàng）對滑動”不能發揮最大的應力緩和作用,太厚也不一定有利於附著力（lì）的提高。