塗（tú）層產（chǎn）品在各個領域都有廣泛應用，是常用的固態薄膜（mó），可以作為防護、絕（jué）緣以及裝修等用處，其製（zhì）備方法主要是（shì）選用物理（lǐ）堆積技能或化學堆積技能將金屬或非（fēi）金屬化合物（wù）塗鍍於基體材料上，構成鍍層。不過，塗層製造（zào）會產生（shēng）內部應力，影響塗層運用，導致失效。因此，要采取（qǔ）相應措施消除或削弱塗層結構內部的（de）應力，避免應力引起（qǐ）的各種失效。

一、挑選合適基體

要消除塗層中的熱應力，根本方（fāng）法就是選用熱膨脹係數相同的塗層和（hé）基體材料。其次是讓成膜溫度與塗層（céng）的（de）測量溫度或運用溫度相同。此外，熱應（yīng）力作為薄膜應力的一部分，受溫度的影（yǐng）響而易於操控，這樣通過熱應力的改動與本征應力互相作用，調整薄膜的微（wēi）觀應力，或許起到改進應力的作用。

二、做熱退火處理

塗（tú）層中（zhōng）存（cún）在的各種缺陷是產生本征（zhēng）應力的主要原因。這些（xiē）缺陷一般都對錯平衡缺陷，故有自行（háng）消失的（de）傾向。但是，要產生消失，需求外界處以（yǐ）活化（huà）能。在對塗層進行熱處理時（shí），外界處以熱能，非平衡缺陷許多消失，因此塗層內應力明顯下降。

三、添加中心塗層

在塗鍍多層高反、增透（tòu）或其它介（jiè）質膜的過程中，膜料應力（lì）性質相同（tóng），這樣就會增大整個膜層的應力，導致塗層決裂或掉落。使用應變相消的原理，在膜層與（yǔ）膜層之間再堆積一層（céng）薄膜，操控工藝（yì）使膜內出現（xiàn）與結構塗層相反的應力狀態，來緩解應力帶來的損壞作用。

別的，當基體和塗層的材料性質不同過大時，即界麵（miàn）性質不（bú）一致，其互相作用（yòng）就大，這種（zhǒng）作用力有使兩種材料（liào）結構類似的作用趨勢，因此塗層內產（chǎn）生很大的變形，構成內應（yīng）力。這種（zhǒng）狀況可先對基體進行表麵處理，即添加亞（yà）層，增大表麵的濕潤性，對塗層和基體（tǐ）的結（jié）構起到過渡作用，保持（chí）結構的連續性，然後減小應力。

　四（sì）、改（gǎi）動工藝參數

堆積過程中工藝（yì）參數的改動會直接（jiē）影響薄膜中（zhōng）的剩下應力水平，通過調整鍍膜時的基底溫度、作業（yè）氣壓、堆（duī）積速率等工藝（yì）參數可以操控（kòng）薄膜中應力的大小，甚至會改（gǎi）動（dòng）應力的性質。

例如，對於濺射鍍（dù）膜，跟著（zhe）反應（yīng）腔（qiāng）內濺射氣壓的增大，高能離子(粒子)的濃度增大，使得氣體分子（zǐ）安閑（xián）程減小，存在嚴峻互相碰撞的散（sàn）射（shè）現象，然後（hòu）減小了氣體分子的能量，原子噴丸效應削弱，增大了堆積粒子流的傾斜分量，致使膜結構疏（shū）鬆，壓應力越來（lái）越小，變為張應力，張應力先增大再減小。

五、改（gǎi）進堆積技能

在（zài）磁控濺射（shè）堆（duī）積（jī）塗層過程中，跟著射頻源功率的改動，堆積原子的動能也產生改動，界麵分散層結構（gòu）和膜層結構的缺陷濃度也隨之改動。因此，塗層內的剩下應力就會產生改動。