DLC膜層的機械、電學、光(guāng)學和摩擦學特性類似(sì)於金剛石,導熱性是銅的2~3倍,且透(tòu)明度高和化學穩定性好,具有極高的硬(yìng)度、良好的抗損、優異的化(huà)學惰性、低介電(diàn)常數、寬的光學帶隙以及良好(hǎo)的生物相容性(xìng)等特性,通常厚度為2~4μm,表麵(miàn)硬(yìng)度可達2500HV,且具有極(jí)低的摩(mó)擦(cā)因數(0.04,是鋼的1/5)。
DLC膜層具有高硬度和高(gāo)彈性模量,同時具有熱導率(lǜ)高、耐腐蝕、耐磨損以及良好的真空摩擦學特性,所以(yǐ)很適合於作為耐磨塗層。目前製備DLC薄膜的方(fāng)法很多,工藝溫度可低至100~250℃目前對DLC膜層尚(shàng)無明確的定義和(hé)統一的概念(niàn)(認(rèn)為(wéi)達到天然金剛石硬度、20%的絕緣無定形碳膜就稱為DLC膜層)。不同的製備方法與不同的沉(chén)積方法製備的DLC膜層硬度差異很大,因sp2/sp3以及氫(qīng)含量不同,薄膜的力學性能也不(bú)同。
DLC塗(tú)層是一種類金剛石塗層,具有高硬度(dù)、低摩擦係數(shù)、良好的耐磨性和化(huà)學穩定性(xìng)等優點,常用於刀具、模具、汽車零(líng)部件等領域的表麵處理。DLC塗層(céng)的加工工藝流程一般包括以下幾個步驟:
1.預處(chù)理:對基材進行清洗、拋光等處理,以去除表麵的汙垢(gòu)、氧(yǎng)化物和粗糙度,提高塗層的附著力。
2.等離子體預處理:使用等離子體(tǐ)技術對基材表麵進行活化處(chù)理,增加表麵能,提高塗層的附著(zhe)力(lì)。
3.後處理:對塗層進行拋光、等處理,以提高表麵光潔度和精度。
4.塗層沉積:采用物理氣相沉積等方法,在素材表麵沉積DLC塗層。
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