金剛石（shí）、類金剛石薄膜技術，是指利用各種光學薄膜製作技術製作接近天然金剛石和人造單晶金剛石，有些範圍光的吸收率低到 1%;具有（yǒu）很高的（de）硬度、良好的導（dǎo）熱性、耐腐蝕性以及化（huà）學穩定性高--1000C(攝氏度)以（yǐ）上仍保持其化學穩定性等特性。類金剛石碳(DLC)塗層的主要成分為碳是一種兼有（yǒu）高硬度和優異摩擦性能的非晶體（tǐ）硬質薄膜，一種非晶亞穩態結構，DLC膜的成份主要指sp3鍵和sp~2鍵，還可能含有一些雜質相如C-H等

一、DLC薄膜性能

1、機械性能:高硬度（dù）和高彈性（xìng）模量、優異的耐磨性、低摩擦係

2、DLC膜中氫的含量（liàng）超過40%門限時能獲得很低的摩擦係數，但（dàn）過多（duō）的氫存在將降低膜與基（jī）體的結合力和表麵硬度（dù），使內應力增大。

3、電學性能:表麵電阻高化學惰性大光學性能:DLC膜在可見光區通常是吸收的，在紅外區具有很高的透（tòu）過率

4、穩定性;亞穩態的材料，熱穩（wěn）定性很差， 400攝氏度

二、DLC薄膜應用

1、機械應用

用於防（fáng）止金屬化學腐蝕（shí）和劃傷方麵，磁介質保護膜

2、電子領域的應用

ULSI芯片的製造:光刻電路板的掩膜（mó）ULSI的BEOL(線後（hòu）端)互聯結構的低K值的材料碳膜和DLC膜交替出現的多層結構構造共振隧道效應的多量子（zǐ）阱結構DLC可作（zuò）為平（píng）麵板場發射（shè）顯示FED的電子發射器

3.光學領域的應用

用在鍺光學鏡片上和矽太陽（yáng）能電池上作為（wéi）減反射（shè）膜塑料和（hé）聚碳酸脂等低熔（róng）點材料組成的（de）光（guāng）學透（tòu）鏡表麵抗磨損保護層DLC膜為性能（néng）極佳的發光材料之一（yī）: 光學隙帶（dài）範（fàn）圍寬，室（shì）溫下光致發光和電致（zhì）發光率都（dōu）很高

4.醫學領域的應用

在人工心（xīn）髒瓣膜的不鏽鋼或欽合金表麵沉積DLC膜能同時滿足機械性能、耐（nài）腐蝕性能和生物相溶性要求（qiú），人工關節（jiē）承受麵的抗磨層

三、DLC薄膜製備方法

物理氣相沉積

1、離子束沉積(IBD):采用等離（lí）子體濺射石墨靶形成大量的碳（tàn）離子並通過（guò）電磁場加速使碳離（lí）子沉積於基體表麵形成DLC膜

2、濺射沉積 特點（diǎn）:沉積的離子能量範圍寬，主要分為: 直流濺射、射頻濺射、磁控濺射（shè）

3、磁過（guò）濾陰極（jí）弧沉積

4、脈衝激光沉積(PLD):

多功能的工藝方法，可以用來沉積從高溫（wēn）超導（dǎo）體到硬質塗層等多種不同性質的材料。